II) Principe de la photolithographie
Les figures 60 et 61 rappellent le principe du procédé de photolithographie ; l'objectif est de transférer un motif (par exemple un rectangle qui correspondra à une zone de source) réalisé sur masque vers une couche de la plaquette.
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Figure 60 : masque de photolithographie. L'utilisation du quartz est liée à la nature des photons qui sont en général dans le domaine ultraviolet. Le dioxyde de chrome est opaque à ce rayonnement et permet une bonne définition des motifs élémentaires.
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Figure 61 : principe de la photolithographie : par insolation, on transfert vers la plaquette le motif défini sur le masque.
