INTRODUCTION
I) NOTE AUX UTILISATEURS
OBJECTIFS
Ce cours interactif s'adresse à des étudiants de second et troisième cycle
(niveau licence et mastère) ou aux élèves des écoles d'ingénieurs. Il est aussi destiné à la
formation continue ou continuée.
DESCRIPTION ET DUREE D'APPRENTISSAGE
Ce document interactif contient 13 chapitres qui sont progressifs dans la difficulté
et qui nécessitent un investissement d'environ 25 heures pour une bonne assimilation. Des animations
et des simulations simples mais suffisamment descriptives sont proposées de manière à mieux assimiler
des phénomènes ou des étapes technologiques qui sont souvent d'une approche difficile ou tout au moins inhabituelle.
AUTOCONTROLE
Des tests sous forme de question à choix multiples permettent aux
usagers de s'autotester. Deux niveaux de test sont proposés. Le premier niveau, nommé "débutant" est de
durée illimitée et comporte des questions de base alors que le second nommé "expert" est limité dans le temps (par
exemple 120 secondes)et comporte en général plus de questions, elles-même plus précises.
PREREQUIS
* Connaissances de base en physique, électricité, chimie, mathématiques. * Connaissances en physique des semiconducteurs et dispositifs électroniques, électronique des circuits. II) SITUATION DE LA DISCIPLINE : TECHNOLOGIE MICROELECTRONIQUE
La technologie microélectronique est une discipline qui se place au
centre d'un certain nombre d'activités de la microélectronique en général. Ces
activités sont très diverses couvrant aussi bien des aspects techniques que commerciaux.
Les différents domaines concernés sont plus particulièrement : * la production, * les procédés technologiques, * les tests de production et de procédés, * la conception assistée par ordinateur facilitant la création
de nouveaux produits et nouveaux circuits. Elle couvre aussi bien les aspects
technologiques, électriques et logiques que fonctionnels, * les équipements - dans ce cas la technologie microélectronique
constitue une interface entre le système (ou l'équipement) et le concepteur. En effet,
le produit doit être compatible avec la technologie de réalisation, * la qualité. En pratique tous ces domaines sont très interdépendants. La figure 1,
représentant les différents métiers des semi-conducteurs, permet de comprendre les
différentes liaisons existant entre les technologues travaillant sur un procédé et
l'environnement. Cela veut aussi dire que cet environnement doit aussi pouvoir dialoguer
avec un technologue. Cela justifie partiellement l'intérêt d'un tel enseignement en
formation universitaire ou d'ingénieurs. Figure
1 : Les métiers
des semi-conducteurs présentés à partir d'un synoptique simplifié d'un
cycle de fabrication. La technologie microélectronique est au centre d'un
grand nombre d'activités.
Cette discipline va bien sûr nécessiter des connaissances aussi bien
en physique des semi-conducteurs et en physique des dispositifs. Mais elle est aussi
utilisatrice de connaissances en : * thermodynamique, * statistiques, * optique, * mécanique, * électronique, * chimie. * etc... Elle constitue en fait une vraie science de l'ingénieur,
qui nécessite de nombreuses connaissances scientifiques de base mais aussi de
l'ingéniosité.