II)
Principiul fotolitografiei :
Figurile 60
si 61 explica principiul procedeului de fotolitografiere;
scopul urmarit este transferarea unui motiv reprezentat pe o masca
(de exemplu un dreptunghi care corespunde
unei zone de sursa) spre stratul de suprafata al plachetei.
Figura
60
: masca pentru fotolitografiere. Utilizarea quartzului este legata de lumina
folosita,
care este in general in zona ultravioleta a spectrului. Dioxidul de crom
este opac
la radiatia ultravioleta si permite o buna definitie a motivelor elementare.
Figura
61 : principiul fotolitografiei : prin
insolare (expunere la lumina) se transfera spre placheta
motivul definit pe masca