II) Principiul fotolitografiei :

Figurile 60 si 61 explica principiul procedeului de fotolitografiere; scopul urmarit este transferarea unui motiv reprezentat pe o masca
(de exemplu un dreptunghi care corespunde unei zone de sursa)  spre stratul de suprafata al plachetei.
 
 
 

Figura 60 : masca pentru fotolitografiere. Utilizarea quartzului este legata de lumina folosita,
                      care este in general in zona ultravioleta a spectrului. Dioxidul de crom este opac
                      la radiatia ultravioleta si permite o buna definitie a motivelor elementare.
 
 
Figura 61 : principiul fotolitografiei : prin insolare (expunere la lumina) se transfera spre placheta
                      motivul definit pe masca