Prima lege a lui Fick traduce tendinta de imprastiere; fluxul de atomi difuzanti este proportional cu gradientul concentratiei acestor
atomi si se exprima prin :

unde D este coeficientul de difuzie. D depinde puternic de temperatura; practic nul la temperatura ambianta, acest coeficient este
de ordinul unitatii pe micron patrat si ora la temperaturi de ordinul a 1100°C.

A doua lege de luat in considerare este ecuatia de continuitate. Intr-un element de volum dat, de grosime dx, daca fluxul ce intra e
superior fluxului ce iese, concentratia substantei considerate creste.  Aceasta ecuatie este utila atat pentru modelarea difuziei, cat si
pentru modelarea deplasarii putatorilor de sarcina (electroni si goluri) in semiconductori (de remarcat insa ca, in cazul difuzizi atomilor,
nu are loc nici generare de perechi, nici recombinari).
 

Prin combinarea celor doua ecuatii precedente se ajunge la a doua lege a lui Fick :
 

Pentru integrarea acestei ecuatii diferentiale, continand o derivata de ordinul I in raport cu timpul si o derivata de ordinul II in raport
cu spatiul, se cer precizate 3 conditii la limita. Aceste conditii vor depinde de procedeul tehnologic folosit.